顧名思義，膜層有臟。一般的膜臟發生在膜內或膜外。臟可以包括：灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。（灰塵點和白霧單列）

改善思路：檢討過程，杜絕臟污染。

改善對策：

㈠ 送交洗凈或擦拭的鏡片不要有過多的不良附著物；

㈡ 加強鍍前鏡片的洗凈率或擦凈率；

㈢ 改善上傘后待鍍鏡片的擺放環境，防治污染；

㈣ 養成上傘作業員的良好習慣，防治鏡片污染（指紋印、口水點及其它）；

㈦ 加快真空室護板更換周期；

㈧ 充氣管道清潔，防治氣體充入時污染；

㈨ 初始排氣防渦流（湍流），初始充氣防過沖；

㈩ 鏡片擺放環境和搬運過程中避免油污、水汽（磨邊、超聲波清洗）污染。

（十一） 工作環境改造成潔凈車間

（十二） 將鍍膜機作業面板和主機隔開，減少主機產生的有害物質污染鏡片。

四/1、灰點臟

現象：鏡片膜層表面或內部有一些點子（不是膜料點）有些可以擦除，有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。

產生原因：

1、真空室臟，在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰帶到鏡片上，形成灰點層。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

2、鏡圈或碟片臟，有浮點灰塵，在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

3、鏡片上傘時就有灰塵點，上傘時沒有檢查挑選。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

4、鍍制完成后的環境污染是膜外灰點的主要成因，特別是當鏡片熱的時候，更容易吸附灰塵，而且難以擦除。（膜外）

5、真空室充氣口環境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟，充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。（膜外）

6、作業員人為帶來的灰塵污染（膜內膜外）

7、工作環境中灰塵過多

改善思路：杜絕灰塵源

改善對策：

㈠ 工作環境改造潔凈車間，嚴格按潔凈車間規范實施。

㈡盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。

㈢真空室周期打掃，保持清潔。

四/2、膜外白霧

現象：鍍膜完成后，表面有一些淡淡的白霧，用丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（又稱：可擦拭壓克）

分析：膜外白霧的成因較為復雜，可能的成因有：

① 膜結構問題：外層膜的柱狀結構松散，外層膜太粗糙；

② 蒸發角過大，膜結構粗糙。

③ 溫差：鏡片出罩時內外溫差過大

④ 潮氣；鏡片出罩后擺放環境的潮氣

⑤ 真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重

⑥ 蒸鍍中充氧不完全，膜結構不均勻

⑦ 膜與膜之間的應力

改善思路：膜外白霧成因很多，但各有些特征，盡量對癥下藥。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善環境減少吸附的對象。

改善對策：

㈠ 改善膜系，外層加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善鏡片出罩時的環境（干燥、清潔）

㈡ 降低出罩時的鏡片溫度（延長在真空室的冷卻時間）減少溫差、降低應力。

㈢ 改善充氧（加大），改善膜結構。

㈣ 適當降低蒸發速率，改善柱狀結構

㈤ 離子輔助鍍膜，改善膜結構

㈥ 加上polycold解凍時的小充氣閥（其功能是及時帶走水汽）

㈦ 從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。

㈧ 改善基片表面粗糙度。

㈨ 注意polycold解凍時的真空度。